2021年，Mini LED的應用逐漸獲得各大品牌青睞，與Mini LED相關的筆電、電視、顯示器等產品不斷湧現，帶動Mini LED需求再次升級。受此影響，上中下游廠商紛紛加快擴產腳步，提前做好準備，以待Mini LED需求放量，走向商業化時代。

然而若要Mini LED真正實現大規模應用落地，成本問題仍是關鍵，需全產業鏈共同推動。Mini LED設備廠商為產業鏈重要一環，技術開發、製程簡化、效率良率等相關進程關係到其他環節對Mini LED良率和成本的控制，影響產品普及時程。因此，設備廠商在Mini LED領域動態值得關注，那設備廠商目前有何進展？

關鍵設備性能進一步提升，助推Mini LED生產成本下降

Mini LED與傳統LED製造流程基本一致，但Mini LED晶片尺寸介於50~200μm，較傳統LED晶元更小，對生產設備有更高性能要求。

尤其Mini LED生產關鍵設備，包括前道製造流程的MOCVD（氣相外延生長）設備、測試分選設備，後道封裝流程轉移、檢測和返修等。

MOCVD設備

上游LED外延片製程主要透過MOCVD設備，設備波長均勻性和缺陷密度是提高Mini LED外延片良率的關鍵。

中微公司為中國MOCVD和刻蝕設備龍頭，2021年6月推出高性能Mini LED量產用MOCVD設備Prismo UniMax。

透過局部溫場精細調控和流場最佳化，設備在4吋和6吋襯底生長的藍綠光LED有較佳波長均勻性。41×4吋條件下，藍光LED片內和片間波長均勻性也有提高，分別為0.71nm和0.87nm（1σ）。

10×6吋條件下，藍光LED片內波長均勻性達0.84nm（1σ），100×100mm方片波長最大最小差值低至2.4nm。 針對平均波長為530nm的6吋綠光LED，達成片內波長均勻性1.04nm（1σ），100×100mm方片波長最大最小差值僅4.6nm。

規格方面，Prismo UniMax MOCVD設備在同系統可配置多達4個反應腔，設備配置785mm大直徑石墨托盤，能同時加工108片4吋或40片6吋高性能氮化鎵基藍綠光Mini LED外延晶片。調整石墨盤可擴展至同時加工164片4吋或72片6吋外延晶片，還可延展到生長8吋外延晶片，大幅提高設備產能，並有效降低Mini LED外延片生產成本。

測試分選設備

Mini LED晶片尺寸微縮、使用量大幅提升，更仰賴點測與分選，才能獲得均一性高的LED晶片，因此要求測試分選設備廠商不斷提升設備速度與精度。

華騰半導體為最早進入Mini LED領域的中國設備廠，針對Mini LED推出全自動測試分選機（HT7600）和全自動編帶機（HT6000），兩款設備均有更高測試精度與良率。華騰半導體Mini LED分選機的運行速度突破18K/h，是2019年三倍，亮度測試偏差低於3%，波長小於0.3nm，精度和良率有較高水準。

轉移設備

轉移設備是中游封裝製程重要設備之一，隨著Mini LED晶片尺寸縮小，單位面積晶片用量增加，轉移設備的生產速度、良率、精度等性能提升成為降低Mini LED生產成本和量產的關鍵。

新益昌是中國LED轉移設備龍頭企業，主推的六聯體轉移設備速度2020年底達約1小時120K，到2021年底已將設備速度提升至約150K，並計劃下半年提升到180K。

半導體封裝設備廠商Kulicke & Soffa（K&S）2021年11月推出採用雷射轉移技術的最新巨量轉移設備LUMINEX，以滿足Mini / Micro LED晶片對巨量轉移的速度、精度、良率要求。

LUMINEX設備基於K&S的LEAP（Laser-Enabled Advanced Placement）雷射轉移技術，能以100Hz速度逐一矯正晶片位置或以100Hz倍數放置多圖形（MPP：Multi-Pattern Placement），掃描模式下高達10,000Hz（相當於每秒1萬次放置），精度從±15μ m@3 Sigma提升到10μ m@3 Sigma，甚至更高（取決於來料晶片位置精度）。轉移速度與精度提升同時，LEAP雷射轉移技術預計較傳統轉移技術有20%~30%成本優勢。

另LUMINEX設備可做到晶片分選、重新排列、最終轉移三大功能，並支援排序、混合和間距調整步驟及最終放置過程。

ASM太平洋配有新型焊頭的轉移設備應用於Mini LED背光生產時，良率高達99.97%，且只需搭配0.4部自動返修幾台，便能達到生產線平衡，有效解決Mini LED背光或RGB直顯螢幕的生產瓶頸問題。設備已在中國、南韓、日本等一線背光模組廠裝機，並達量產階段。

Mini LED轉移設備廠商Rohinni於2021年1月開發新型複合轉移頭，使Mini LED轉移速度翻倍（每秒100+次），成本降低一半，並可實現99.999%以上的放置良率，現已用於大批量生產Mini LED產品。

Mini LED需求帶動業績增長，設備廠商積極擴產

Mini LED設備性能提升同時，Mini LED需求上漲也為Mini LED設備廠商業績帶來增長動能，增加設備廠商Mini LED領域佈局的信心。

中微公司Mini LED市場快速增長，為MOCVD設備業務帶來新成長機遇。 高性能Mini LED量產的MOCVD設備Prismo UniMax發表半年內就收到多家企業訂單。

今年3月中微全資子公司南昌中微接到兆馳半導體的52腔Prismo Unimax MOCVD設備採購訂單後，Prismo UniMax設備訂單數量就超過180腔，設備營收佔比持續提升，預計今年佔比將提升至80%。

新益昌得益於設備訂單量增加，毛利率較高的Mini LED轉移設備及半導體固晶機收入金額增加，2021年業績大幅增長，淨利潤增長115.78%。 新益昌Mini LED設備月產能為200台，客戶包括利亞德、艾比森、洲明科技、鴻利智匯等。

LED點測分選設備龍頭惠特受惠於Mini LED需求提升，2021年LED點測及分選等設備與代工業務需求強勁，帶動惠特營收逐季增長，第四季營收新台幣16.37億元，同比增長86%；全年營收新台幣57.14億元，同比增長80.86%，均創歷史新高。

產能方面，為應付蘋果Mini LED需求增加，惠特已於2021第四季擴大LED點測／分選設備產能，預計2022年點測、分選設備產能增幅可達30%~40%。

梭特科技Mini LED分選（Sorter）機台累計出貨達1.2萬台，新一代分選機每秒分選18顆晶片。得益蘋果導入Mini LED背光技術，2021年累計出貨高達4千台。

大族鐳射得益Mini LED對行業設備需求的增長和市佔率持續提升，2021年半導體及泛半導體業晶圓加工設備快速增長，營業收入6.69億人民幣，同比增長140.62%，Mini LED切割、裂片、剝離、修復等設備大量銷售。

為推動LED高端顯示業務發展，K&S於2021年2月收購美國科技公司Uniqarta。Uniqarta的雷射轉移LEAP技術（Laser-Enabled Advanced Placement）加速K&S在Mini LED背光與Micro LED直顯應用進步，LUMINEX設備正是收購成果的體現，去年已交貨。

Mini LED等高階LED顯示、通用照明、汽車、半導體等終端市場驅動下，K&S 2021財年淨收入15.18億美元，同比增長143.5%；淨利潤3.67億美元，同期相比增長602%。2022財年第二季（截至4月2日），K&S在大環境不好下仍能逆勢成長，淨收入為3.84億美元，同比增長13%，淨利潤為1.16億美元，同比增長62.7%。

近日又收到了兩個LUMINEX設備的採購訂單，將對業績產生積極影響。K&S將進一步提高設備的生產效率、良率、精度，應付Mini / Micro LED市場需求。

搶佔Mini LED藍海市場，更多中國設備玩家入場

Mini LED設備需求大幅提升，推動主流設備廠商業績提升同時，也更多設備廠商參與佈局Mini LED領域。

LEDinside瞭解，智雲股份突破Mini LED設備研發，首批設備類型包括邦定、點膠、貼附設備等，取得訂單並完成出貨，主要客戶包括台廠。Micro LED領域，智雲股份設備已完成研發落地，並2020年批量供貨。智雲股份今年宣佈調整業務結構，未來重點發展顯示模組設備業務。

2021年7月，凌雲光宣佈首台Mini LED AOI檢測設備成功通過客戶廠驗，進入客戶端工廠。檢測設備是針對65吋Mini LED背光點燈檢測系統，可對各種點、線、Mura（色斑）等缺陷精確量化檢測。經過一年多快速佈局，凌雲光已對Mini LED背光及直顯全工序段光學、電性及外觀檢測需求，並突破Micro LED關鍵檢測技術。

2021年8月，廈門特儀科技有限公司首次公開自主研發製造的Mini LED設備，首台設備正式交付行業龍頭企業。

2021年10月，深科達宣佈擬募資不超過3.6億人民幣，1.8億是用於惠州平板顯示裝備智慧製造生產基地二期建設專案，產品主要為Mini / Micro LED精密組裝及檢測設備。

2021年12月，合肥欣奕華宣佈首台自主研發的Mini LED電學檢測設備正式交付客戶，定位精度達±5微米，單點測試速度可達毫秒級，單次檢測近萬個點位，還可對應玻璃基、PCB和FPC基Mini LED背光線路缺陷檢測。

欣奕華自主研發的大尺寸Mini LED巨量轉移設備也交付客戶應用。設備有大尺寸基板無需拼接、高良率、高速度、強相容等多方面優點，最小晶元尺寸75×125μm，打件精度達15μ m@3 σ。

同月雷射設備廠科韻激光發表多款設備新品，包括Mini LED修復設備、Mini LED鐳射隱切設備。

Mini LED前景值得期待，但成本仍需最佳化

隨著品牌和供應鏈企業增加推廣及LED產業鏈各環節進一步最佳化Mini LED成本，越來越多Mini LED終端產品湧現，走進消費者視野，對目前Mini LED尚存的問題與未來市場前景，設備廠商各抒己見。

中微公司認為，Mini LED批量投入市場的前提是製造成本下降。預計2022年Mini LED電視、平板、筆電和顯示器等出貨量會有大幅提升，帶動Mini LED產業鏈規模化發展、技術成熟與成本降低。

K&S表示，儘管2021年更多Mini LED產品上市，但實際量能還有很大的提升空間。目前Mini LED放量主要障礙仍在成本。K&S認為2022年Mini LED將還是溫和放量階段，隨著K&S LUMINEXTM等巨量轉移設備逐漸投入市場，2023年市場行情會有明顯改變。

新益昌認為，Mini LED背光市場空間的大小取決於材料端成本下降速度及Mini LED在電視、筆電和iPad領域滲透度，如果市場10%需求切換成Mini LED背光，Mini LED背光產品的應用空間將更可觀。

結語

2021年，Mini LED設備性能再提升，尤其MOCVD、轉移設備、點測分選等關鍵設備，為Mini LED量產打下穩固基礎。Mini LED初期放量帶動設備廠業績提升，增加設備廠商佈局Mini LED的信心，同時也吸引更多國產設備玩家加快發展Mini LED業務，未來或有更多高性價比Mini LED設備問世，加速突破Mini LED良率與成本難題，從設備端出發，推動Mini LED商業化發展。 （文：LEDinside Irving）